プロトスキャリア用非接触ピンセット

　　　　　

アキレス/プロトスキャリアのウエハを非接触にてハンドリング可能な

　　『アキレス/プロトスキャリア用非接触ピンセット』

『アキレス/プロトスキャリア用非接触ピンセット』は極薄ウエハ、反りのあるウエハを非接触にてプロストキャリアから取り出しまたは収納する場合に使用します。空気を噴出させることによりワークとの距離に応じてその内部をエゼクタ効果およびベルヌーイ効果により負圧にし、また圧力室型エアクッション効果および空気流のクッション効果により正圧にすることにより、基板を非接触状態にて懸垂保持する機能を有しております。

ハンドルの先端の非接触搬送装置「フロートチャック」をハンドルを持つ手の操作により空気供給のＯＮ－ＯＦＦを行い、ウエハを非接触にて吸着し、脱着を行います。

◎特徴

・手操作である。

・プロストキャリアからウエハを非接触にて取り出し、また収納する。
・傷・汚れ・損傷がない　　　　　　　　　　　　