性能表
(特許）
| １ | フロートチャックSA-C(SAN)型 |
| ２ | フロートチャックWA-C型 （クリンルーム用） |
| 3 | フロートチャックLNA型 (超薄ガラス/フィルム用） |
| ４ | ベルヌーイチャック（耐熱ウエハ用） （CVD サセプタ） |
| ５ | ベルヌーイチャック （ガラス基板用） |
| 6 |
ベルヌーイチャック(レンズ用） |
| 7 |
ベルヌーイチャック（小チップ用） |
| 8 |
非接触ピンセット （ウエハ･チップ・レンズ・ガラス他） |
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ソーラーリサーチ研究所の
ベルヌーイチャック(フロートチャック)
非接触搬送装置
非接触搬送システム
外形寸法表
| SA-１C (SAN）型 |
SA-２C (SAN）型 |
SA-３C (SAN）型 |
SA-４C (SAN）型 |
SA-５C (SAN）型 |
SA-６C (SAN）型 |
|
| 外形Dφmm | ３９ | 49 | 69 | 95 | 105 | 120 |
| 高さhmm | 25 | 20 | 25 | 25 | 25 | 25 |
| 気体供給口 | M5 | M5 | M5 | R1/8 | R1/8 | R1/8 |
その他の製造品目は下記参照下さい。
http://www.solarlab.co.jp/dsonly2
製品
ソーラーリサーチ研究所の