構成： 1mm□ウエハチップを非接触にて把持するベルヌーイチャック（ウエハチップ／HDDスライダ用）非接触搬送装置は、中央部にノズルを配するクッション室、周辺部に作動面を設けています。ノズルより気体を噴出することにより、エゼクタ効果及びベルヌーイ効果による負圧と、圧力式エアクッション効果による正圧を生じ、ウエハチップを非接触状態にて懸垂把持し、搬送、反転、傾斜することが可能です。汚染、損傷、パッド跡の付着がありません。
1.0ｍｍ□〜１５ｍｍ□の微小ワークのウエハチップ、HDDスライダ、レンズを非接触にてチャックし、搬送します。
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「ベルヌーイチャック（1mm□ウエハチップ/HDDスライダ非接触搬送装置」の特徴とするところは、空気噴出口より噴出した高速気流が直接ワークに当たらない機構にしおり、高速気流による局所衝撃力がワークにかからず、また装置全面にて保持するため、微小ワーク、脆いワークを破損したり損傷せずまた、ワークにストレスを生じさせずに、ワークを非接触状態にて懸垂把持が可能である。
◎特徴
１．0.7〜１５ｍｍ□のウエハチップ/HDDスライダを非接触状態にて懸垂把持、ハンドリングが可能。
２．1.0ｍｍφの微小球状レンズを非接触にて懸垂 把持、ハンドリングが可能。
３．ワークに傷、汚れを付着させない。
４．ワークにストレスを生じさせない。
◎適応
１．ウエハチップ
２．HDDスライダ
２．レンズ
３．プリズム
４．微小ワーク
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